제품소개

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제품소개

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장비명
WafIR™ATRWaferChecker
측정샘플
웨이퍼
Crystal
Si
적용장비
소형 FT-IR을 제외한 모든 장비

 

WafIR™ATRWaferChecker

 

. 전자, 통신 및 태양광 패널 산업에 사용되는 웨이퍼를 분석에 적합

. 한쪽면에 코팅이 된 SAMs 및 기타 코팅된 웨이퍼 분석에 적합

. 샘플 사이즈 : 직경 52 x 10 mm ~ 203 mm (8")에 적합

. 비접촉 샘플링 방식으로 coupling crystal은 측정 영역 밖에 존재

. 0.770mm 두께의 코팅된 표면으로부터의 33개의 반사점 제공하며 높은 감도를 제공

. 입사각 45도 

. Si coupling crystal 교체 가능

. 샘플에 가해지는 총 압력을 조절하기 위한 Built-in Slip clutch 및 쉬운 Align