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장비명
WafIR™ATR Wafer Checker
측정방식
Multiple reflection
측정샘플
웨이퍼
특 징
33 Reflection
적용장비
FTIR

WafIR™ATRWaferChecker

 

.  웨이퍼의 단층, 얇은 코팅 분석

.  샘플 사이즈 : 직경 52 x 10 mm ~ 203 mm (8")에 적합

.  0.770mm 두께의 코팅된 표면으로부터의 33번의 반사를 제공하며 높은 감도를 제공

.  입사각 45도, Si Crystal

.  비접촉 샘플링 방식으로 coupling crystal은 측정 영역 밖에 존재

 

기본구성

.  11HWF-XXX WafIR™ ATR Wafer Checker