WafIR™ATRWaferChecker

.  Wafer의 단층, 얇은 코팅 분석

.  Sample size: 52 x 10 mm up to 203 mm (8”) in diameter

.  Provides 33 reflections from the coated surface for a 0.770 mm thick wafer

.  입사각 45도, Si Crystal

기본구성

.  11HWF-XXX WafIR™ ATR Wafer Checker

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