Global Group
Vertical Wafer Accessory
. 탄소, 산소 및 BPSG용 투과분석
. 6", 5", 4", 3", 2" 사이즈의 반도체 웨이퍼
. 수동 및 / 또는 완전 자동 작동
. AutoPRO Software를 이용한 포인트별 투과 측정
. 맞춤형 마운트 및 블랭크
기본구성
. 1007326XX Vertical Wafer Accessory, Automated Version includes motion control unit and AutoPRO Software
. 1007316XX Vertical Wafer Accessory, Manual Version includes baseplate mount for your FTIR
선택구성
. Options
Part Number |
Description |
100733600 |
6" Wafer Mount, Blank |
100733660 |
Additional Wafer Mount |
100733650 |
Insert to support 5" wafer |
100733640 |
Insert to support 4" wafer |
100733630 |
Insert to support 3" wafer |
100733620 |
Insert to support 2" wafer |