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장비명
Vertical Wafer Accessory
측정방식
투과 Transmission
측정샘플
반도체 웨이퍼
특 징
최대 6인치 웨이퍼 분석
적용장비
FTIR

Vertical Wafer Accessory

 

.  탄소, 산소 및 BPSG용 투과분석

.  6", 5", 4", 3", 2" 사이즈의 반도체 웨이퍼

.  수동 및 / 또는 완전 자동 작동

.  AutoPRO Software를 이용한 포인트별 투과 측정

.  맞춤형 마운트 및 블랭크

 

기본구성

.  10073-26XX Vertical Wafer Accessory, Automated Version includes motion control unit and AutoPRO Software

.  10073-16XX Vertical Wafer Accessory, Manual Version includes baseplate mount for your FTIR

 

선택구성

.  Options

 

 Part Number

  Description

 10073-3600

  6" Wafer Mount, Blank

 10073-3660

  Additional Wafer Mount

 10073-3650

  Insert to support 5" wafer

 10073-3640 

  Insert to support 4" wafer

 10073-3630

  Insert to support 3" wafer

 10073-3620

  Insert to support 2" wafer

 

 

 

 

 

장비 관련 상세 문의를 원하시면 -> Click 또는 02-2659-9948 /  kri@k-ri.co.kr