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장비명
Vertical Wafer Accessory
측정방식
투과 Transmission
측정샘플
반도체 웨이퍼
특 징
최대 6인치 웨이퍼 분석
적용장비
FTIR

Vertical Wafer Accessory

 

.  탄소, 산소 및 BPSG용 투과분석

.  6", 5", 4", 3", 2" 사이즈의 반도체 웨이퍼

.  수동 및 / 또는 완전 자동 작동

.  AutoPRO Software를 이용한 포인트별 투과 측정

.  맞춤형 마운트 및 블랭크

 

기본구성

.  1007326XX Vertical Wafer Accessory, Automated Version includes motion control unit and AutoPRO Software

.  1007316XX Vertical Wafer Accessory, Manual Version includes baseplate mount for your FTIR

 

선택구성

.  Options

 

 Part Number

  Description

 100733600

  6" Wafer Mount, Blank

 100733660

  Additional Wafer Mount

 100733650

  Insert to support 5" wafer

 100733640 

  Insert to support 4" wafer

 100733630

  Insert to support 3" wafer

 100733620

  Insert to support 2" wafer