제품소개

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제품소개

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장비명
MappIR
측정방식
투과, 정반사
측정샘플
반도체 웨이퍼
특 징
최대 8인치 웨이퍼 분석
적용장비
FTIR

MappIR

 

.  반도체 웨이퍼 매핑 분석용 완전 자동화된 악세사리

.  EPI, BPSG, 산소 및 탄소용 정반사, 투과 샘플링

.  최대 직경 8" (200mm) 까지의 웨이퍼 수용

.  맞춤형 웨이퍼 마운트 가능

.  AutoPROTM 소프트웨어를 사용하여 R-theta 또는 Cartesian 좌표로 정밀 모션을 프로그래밍 할 수 있음

 

기본구성

.  1001628XX MappIR Accessory for 8" wafers includes wafer mount, motion control unit, AutoPRO software and mount for your FTIR

.  1001629XX Purge-Ready MappIR Wafer Accessory for 8" Wafers includes wafer mount, motion control unit, AutoPRO software and mount for your FTIR (order purge enclosure separately)

 

선택구성

.  Options for the MappIR and MAP300 Accessories

 

 Part Number

  Description

 100733880

  Additional 8" Wafer Mount (MappIR only)

 100733800

  Blank Support-for custom wafers (MappIR only)

 100173912

  Additional 12" Wafer Mount (MAP300 only)

 100173980

  Insert to Support 8" Wafer (MAP300 only)

 100733860  

  Insert to Support 6" Wafer

 100733850

  Insert to Support 5" Wafer

 100733840

  Insert to Support 4" Wafer

 100733830 

  Insert to Support 3" Wafer

 100733820 

  Insert to Support 2" Wafer

 100163000

  Purge Enclosure for MappIR

 100173000

  Purge Enclosure for MAP300