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장비명
MappIR
측정방식
투과, 정반사
측정샘플
반도체 웨이퍼
특 징
최대 8인치 웨이퍼 분석
적용장비
FTIR

MappIR

 

.  반도체 웨이퍼 매핑 분석용 완전 자동화된 악세사리

.  EPI, BPSG, 산소 및 탄소용 정반사, 투과 샘플링

.  최대 직경 8" (200mm) 까지의 웨이퍼 수용

.  맞춤형 웨이퍼 마운트 가능

.  AutoPROTM 소프트웨어를 사용하여 R-theta 또는 Cartesian 좌표로 정밀 모션을 프로그래밍 할 수 있음

 

기본구성

.  10016-28XX MappIR Accessory for 8" wafers includes wafer mount, motion control unit, AutoPRO software and mount for your FTIR

.  10016-29XX Purge-Ready MappIR Wafer Accessory for 8" Wafers includes wafer mount, motion control unit, AutoPRO software and mount for your FTIR (order purge enclosure separately)

 

선택구성

.  Options for the MappIR and MAP300 Accessories

 

 Part Number

  Description

 10073-3880

  Additional 8" Wafer Mount (MappIR only)

 10073-3800

  Blank Support-for custom wafers (MappIR only)

 10017-3912

  Additional 12" Wafer Mount (MAP300 only)

 10017-3980

  Insert to Support 8" Wafer (MAP300 only)

 10073-3860  

  Insert to Support 6" Wafer

 10073-3850

  Insert to Support 5" Wafer

 10073-3840

  Insert to Support 4" Wafer

 10073-3830 

  Insert to Support 3" Wafer

 10073-3820 

  Insert to Support 2" Wafer

 10016-3000

  Purge Enclosure for MappIR

 10017-3000

  Purge Enclosure for MAP300

 



 

 

 

 

 

장비 관련 상세 문의를 원하시면 -> Click 또는 02-2659-9948 /  kri@k-ri.co.kr