MappIR

.  반도체 웨이퍼 매핑 분석용 완전 자동화된 악세사리

.  EPI, BPSG, 산소 및 탄소용 정반사, 투과 샘플링

.  최대 직경 8" (200mm) 까지의 웨이퍼 수용

.  맞춤형 웨이퍼 마운트 가능

.  AutoPROTM 소프트웨어를 사용하여 R-theta 또는 Cartesian 좌표로 정밀 모션을 프로그래밍 할 수 있음

기본구성

.  1001628XX MappIR Accessory for 8" wafers includes wafer mount, motion control unit, AutoPRO software and mount for your FTIR

.  1001629XX Purge-Ready MappIR Wafer Accessory for 8" Wafers includes wafer mount, motion control unit, AutoPRO software and mount for your FTIR (order purge enclosure separately)

선택구성

.  Options for the MappIR and MAP300 Accessories