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장비명
MAP300
측정방식
투과, 정반사
측정샘플
반도체 웨이퍼
특 징
최대 12인치 웨이퍼 분석
적용장비
FTIR

MAP300

 

.  반도체 웨이퍼 매핑 분석용 완전 자동화된 악세사리

.  EPI, BPSG, 산소 및 탄소용 정반사, 투과 샘플링

.  최대 직경 12" (300mm) 까지의 웨이퍼 수용

.  맞춤형 웨이퍼 마운트 가능

.  AutoPROTM 소프트웨어를 사용하여 R-theta 또는 Cartesian 좌표로 정밀 모션을 프로그래밍 할 수 있음

 

기본구성

.  10017-28XX MAP300 Accessory for 12" Wafers includes wafer mount, motion control unit, AutoPRO software, mount for your FTIR and insert to support 8" wafers

 

선택구성

.  Options for the MappIR and MAP300 Accessories

 

 Part Number

  Description

 10073-3880

  Additional 8" Wafer Mount (MappIR only)

 10073-3800

  Blank Support-for custom wafers (MappIR only)

 10017-3912

  Additional 12" Wafer Mount (MAP300 only)

 10017-3980

  Insert to Support 8" Wafer (MAP300 only)

 10073-3860

  Insert to Support 6" Wafer

 10073-3850

  Insert to Support 5" Wafer

 10073-3840

  Insert to Support 4" Wafer

 10073-3830

  Insert to Support 3" Wafer

 10073-3820

  Insert to Support 2" Wafer

 10016-3000

  Purge Enclosure for MappIR

 10017-3000

  Purge Enclosure for MAP300

 

 


 

 

 

 

 

장비 관련 상세 문의를 원하시면 -> Click 또는 02-2659-9948 /  kri@k-ri.co.kr