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장비명
고분해능 유도결합플라즈마 질량분석기 (High Resolution ICP-MS)
모델명
ELEMENT2 / ELEMENT XR
간섭제거
마그네틱 섹터 방식 고분해능을 통한 제거 (반응 가스 사용하지 않음)
분해능
Mass Resolution : 0.001 Da (일반 사중극자 보다 500배 높은 분해능)
성능
Detector Power:<1 ppq (pg/L) & Dynamic Range:>10^12 (ELEMENT XR)
크 기
W 174 X 88 X 141 cm

 

ELEMENT 2 / XR HR-ICP-MS 고분해능 유도결합플라즈마 질량분석기

 

Key Point 1.

 

 > 복잡하고, 다양한 질량간섭 요인을 고분해능 질량 필터로 반응 가스 없이 제거 

 

*** 일반적인 단일 사중극자(Single Quad) 또는 삼중 사중극자(QQQ, Triple Quad) 방식에서 다양한 매트릭스와 원소에 따라 적절한 헬륨, 메탄, 수소, 산소, 암모니아 가스를 선별하여 질량 간섭을 제거해야 하는 복잡한 구조와 달리 마그네틱 섹터 방식의 최대 500배 이상 높은 분해능으로 어떠한 반응 가스도 사용하지 않고 간섭을 제거할 수 있음.

 

 

 

*** 아래 예시는 반도체 고순도 황산 분석에서 왼쪽 그림은 일반 사중극자에서 황산 매질 중 S, N, O 등의 간섭으로 극미량 존재하는 Ti 원소가 분리되지 않는 스펙트럼이고, 가운데 및 오른쪽은 그림은 ELEMENT2 마그네틱 섹터 방식 고분해능으로 질량 간섭을 분리 제거한 스펙트럼이다

 

 

Key Point 2.

 

 > 사용자의 편의성과 생산성까지 접목된 기능과 소프트웨어  

 

 

Key Point 3.

 

 > 사중극자 방식에 비해 10 배 높은 감도와 10 배 넓은 정량 범위 그리고 다양한 응용성.

 

*** 반도체 초극미량 분석시, 다양하고 복잡한 Matrix에서 20가지가 넘는 원소에 대한 단단위 ppt 이하 수준의 바탕값 (BEC, Background Equivalent Concentration) 관리와 이와 비슷한 수준의 불순물 분석을 간섭으로부터 영향받지 않고 높은 감도로 재현성 있게 분석하는데 최적화 된 장비.

 

*** 환경, 식품, 생체 시료 중 극미량 유해성 중금속과 ppm 단위의 고농도로 존재하는 영양소 원소와 일부 높은 함량으로 존재하는 원소를 동시에 분석 하는데 적합.

 

*** 동위 원소 분석 및 Laser Ablation 응용에서도 높은 감도와 넓은 정량적 특성으로 인해 보편적으로 사용됨.